A plazmatisztító bemutatása

A plazma a szilárd anyagokhoz, folyadékokhoz és gázokhoz hasonlóan egy halmazállapot, más néven a negyedik halmazállapot. A plazma akkor képződik, amikor elegendő energiát alkalmaznak egy gázra annak ionizálásához. A plazma "aktív" komponensei közé tartoznak az ionok, elektronok, reaktív gyökök, gerjesztett nuklidok (metastabil állapotok) és fotonok. A plazma felületkezelő rendszerek ezen aktív komponensek tulajdonságait használják fel a mintafelületek kezelésére, olyan célokat érve el, mint a tisztítás, módosítás és a fotoreziszt hamvasztás.