A plazmatisztítók speciális alkalmazásai

A plazmatisztító/marató gépek úgy állítanak elő plazmát, hogy két elektródát egy lezárt edénybe helyeznek, hogy elektromos mezőt hozzanak létre. Vákuumszivattyút használnak egy bizonyos vákuumszint fenntartására. Ahogy a gáz egyre ritkább, a molekulák közötti távolság és a molekulák vagy ionok szabad mozgása is növekszik. Az elektromos tér hatására ezek az ionok ütköznek és plazmát képeznek. Ezek az ionok nagyon reaktívak, elegendő energiával rendelkeznek ahhoz, hogy szinte minden kémiai kötést megszakítsanak, kémiai reakciókat indukálva minden kitett felületen. A különböző gázplazmák eltérő kémiai tulajdonságokkal rendelkeznek. Például az oxigénplazma erősen oxidáló, képes oxidálni a fotorezisztet, hogy gázt termeljen, így tisztító hatást ér el. A korrozív gázplazma kiváló anizotrópiával rendelkezik, amely megfelel a maratás követelményeinek. A plazmakezelés fényt hoz létre, innen ered az izzó kisülés elnevezés.
A plazmatisztítás mechanizmusa elsősorban a plazmában lévő aktív részecskék "aktiválásán" alapul a felületi foltok eltávolítása érdekében. A reakciómechanizmus szempontjából a plazmatisztítás általában a következő folyamatot foglalja magában: szervetlen gázokat gerjesztenek plazmaállapotba; gáznemű anyagok adszorbeálódnak a szilárd felületen; az adszorbeált csoportok a szilárd felületen lévő molekulákkal reakcióba lépve termékmolekulákat képeznek; a termékmolekulák gázfázisra bomlanak; és a reakció maradékait eltávolítjuk a felületről.

A plazmatisztító technológia legjelentősebb tulajdonsága, hogy bármilyen típusú hordozót képes kezelni, beleértve a fémeket, félvezetőket, oxidokat és a legtöbb polimer anyagot, mint például a polipropilént, poliésztert, poliimidet, polivinil-kloridot, epoxit és még a politetrafluor-etilént is. A teljes felületet és bizonyos területeket, valamint összetett szerkezeteket egyaránt képes tisztítani.